三氟化氮檢測(cè)儀是一種用于連續(xù)監(jiān)測(cè)工業(yè)環(huán)境中三氟化氮(NF3)氣體濃度的重要安全設(shè)備。這種裝置特別適用于半導(dǎo)體制造、平板顯示器生產(chǎn)、光纖和光伏電池制造等高科技行業(yè)，這些領(lǐng)域在生產(chǎn)過(guò)程中廣泛使用三氟化氮作為等離子蝕刻氣體和反應(yīng)腔清洗劑。
1.選擇安裝位置：
安裝位置應(yīng)選擇在可能的泄漏源附近，確保快速準(zhǔn)確的檢測(cè)到三氟化氮泄漏。
設(shè)備應(yīng)安裝在避免直接日光、雨水、以及強(qiáng)電磁干擾的環(huán)境中。
安裝高度應(yīng)考慮到三氟化氮比空氣重的特性，通常建議在泄漏源附近的較低位置或地面上方1米左右的位置進(jìn)行安裝。
2.確定安裝方式：
固定式三氟化氮檢測(cè)儀支持多種安裝方式，包括管道式、壁掛式等。選擇適合特定環(huán)境的安裝方式。
對(duì)于管道式安裝，確保管道與探測(cè)器連接緊密無(wú)泄漏，工作壓力需保持在大氣壓的±30%范圍內(nèi)。
3.電氣連接與電源要求：
確保電源供應(yīng)穩(wěn)定，符合設(shè)備的電壓和電流要求。一般工作電壓為12~36V直流電。
連接電纜應(yīng)選擇符合RS485或4～20mA標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)傳輸線材，并注意屏蔽效果，以減少外部干擾。
4.防爆與安全認(rèn)證：
確認(rèn)所選設(shè)備符合相應(yīng)的防爆標(biāo)準(zhǔn)，如隔爆型ExdⅡCT6，確保在潛在爆炸性環(huán)境中安全使用。
設(shè)備及其所有部件均應(yīng)通過(guò)必要的安全認(rèn)證，如CE認(rèn)證、ROHS指令等。
5.功能測(cè)試與校驗(yàn)：
安裝完成后進(jìn)行功能測(cè)試，驗(yàn)證報(bào)警、顯示和其他功能是否正常。
根據(jù)制造商的指導(dǎo)手冊(cè)進(jìn)行設(shè)備的定期校準(zhǔn)和維護(hù)，以確保持續(xù)準(zhǔn)確的監(jiān)測(cè)效果。
聯(lián)系人：何經(jīng)理
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